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激光傳感器如何對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)厚?

點(diǎn)擊次數(shù):513 發(fā)布時(shí)間:2023/8/10
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  激光傳感器如何對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)厚?

  激光傳感器被廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域中。其中一個(gè)很有用的應(yīng)用是測(cè)量薄膜厚度。這種傳感器可以在離表面很近的距離下進(jìn)行高精度測(cè)量,因此非常適合這種應(yīng)用。激光傳感器如何用于測(cè)量薄膜厚度,包括測(cè)量方法、測(cè)量原理和市場(chǎng)應(yīng)用。

  激光傳感器如何對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)厚?

  一、激光傳感器測(cè)量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移傳感器測(cè)量薄膜前后表面的距離差,然后通過幾何公式計(jì)算出薄膜厚度。在實(shí)際操作中,測(cè)量方法大致可分為以下幾種:

  1. 激光傳感器通常用于快速的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)。用戶只需要將激光位移傳感器靠近待測(cè)表面,然后通過讀取顯示屏上的數(shù)值判斷薄膜厚度是否符合要求。這種方法不需要復(fù)雜的設(shè)

  備和步驟,非常易于使用。但是由于人手的震動(dòng)和誤差等因素,手持式測(cè)量的精度相對(duì)較低,只適用于需求不是特別高的場(chǎng)合。

  2. 自動(dòng)化在線測(cè)量

  自動(dòng)化在線測(cè)量一般用于工業(yè)生產(chǎn)線上的質(zhì)量控制。這種方法需要將激光位移傳感器與自動(dòng)化設(shè)備相連接,將測(cè)量數(shù)據(jù)傳遞給計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。在這種情況下,測(cè)量過程可以自動(dòng)化,精度也可以得到保證。但是相對(duì)于手持式測(cè)量來說,這種方法需要的設(shè)備和技術(shù)要求更高,成本也更高。

  3. 激光傳感器量常用于對(duì)細(xì)小薄膜厚度的測(cè)量。在這種情況下,用戶需要將激光位移傳感器與顯微鏡相結(jié)合進(jìn)行測(cè)量。由于顯微鏡的存在,可以大大增強(qiáng)測(cè)量精

  度。但是相對(duì)于其他兩種方法,這種方法需要的設(shè)備更多,并且技巧要求也更高。

  激光位移傳感器如何對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)厚?

  二、激光傳感器利用的是激光三角測(cè)量原理。簡(jiǎn)而言之,就是利用激光照射到目標(biāo)物體,然后通過接收激光反射后的信號(hào)計(jì)算出目標(biāo)物體與傳感器之間的距離。

  在薄膜厚度的測(cè)量中,我們需要測(cè)量的是薄膜上下兩邊表面在傳感器中的距離差。具體來說,就是將激光位移傳感器對(duì)準(zhǔn)薄膜上表面時(shí),測(cè)量并記錄下當(dāng)前距離;然后再將激光位移傳感器對(duì)準(zhǔn)薄膜下表面時(shí),同樣記錄下當(dāng)前采集的距離。于是,利用兩個(gè)采樣得到的距離差,即可計(jì)算出薄膜的厚度。

  這個(gè)計(jì)算過程涉及到三角形的計(jì)算,根據(jù)勾股定理,可以得到:

  激光傳感器表示薄膜厚度,d1和 d2表示傳感器到薄膜表面的距離,x表示光束的入射角度。

  三、激光傳感器量薄膜厚度的應(yīng)用非常廣泛。下面列舉幾個(gè)常見的場(chǎng)景:

  1. 光學(xué)薄膜

  光學(xué)薄膜通常用于制造光學(xué)器件,如透鏡、反射鏡等。在這種情況下,光學(xué)薄膜的薄厚度對(duì)于光學(xué)器件的性能影響非常大。利用激光位移傳感器可以非常準(zhǔn)確地測(cè)量光學(xué)薄膜的厚度,從而保證光學(xué)器件的性能。

  2. 電子薄膜

  電子薄膜通常用于制造半導(dǎo)體器件,如晶體管、集成電路等。在這種情況下,電子薄膜的薄厚度對(duì)于半導(dǎo)體器件的性能也有很大的影

  響。利用激光位移傳感器可以非常精準(zhǔn)地測(cè)量電子薄膜的厚度,從而保證半導(dǎo)體器件的性能。

  3. 涂層厚度

  涂層厚度是指在某個(gè)基材表面上涂覆一層薄膜。這種涂層薄膜通常用于改善基材的物理性質(zhì)或化學(xué)性質(zhì)。例如,鍍金、鍍銀、鍍層等。激光位移傳感器可以幫助我們檢測(cè)涂層的厚度,從而保證涂層的性質(zhì)得到保證。

  4. 激光傳感器有很多需要用到薄膜的地方,例如各種探頭、傳感器、導(dǎo)線等。利用激光位移傳感器可以檢測(cè)這些薄膜的厚度,從而保證醫(yī)療器械的性能和質(zhì)量。

  激光傳感器測(cè)量薄膜厚度的原理非常簡(jiǎn)單,應(yīng)用廣泛。我們可以利用不同的測(cè)量方法,選擇自己的方法進(jìn)行測(cè)量。在實(shí)際應(yīng)用中,需要注意操作規(guī)范,確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。


 
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